Learning device, information processing device, substrate processing device, learning method, and processing condition determination method

WO2024203290 Art A1 3. Oktober 2024

Anmelder: SCREEN HOLDINGS CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2024203290
Aktenzeichen
EP24779420
Anmeldetag
12. März 2024
Veröffentlichung
3. Oktober 2024
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/306G06N20/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
SCREEN HOLDINGS CO., LTD.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 SCREEN Holdings

Japanischer Technologiekonzern. SCREEN Holdings stellt Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie her, insbesondere Wafer-Reinigungs- und Beschichtungssysteme, sowie Druck- und Bildverarbeitungstechnik.

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