Vacuum pump, magnetic bearing control device, and compression/decompression method

WO2024203989 Art A1 3. Oktober 2024

Anmelder: EDWARDS JAPAN LIMITED 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2024203989
Aktenzeichen
EP24780107
Anmeldetag
25. März 2024
Veröffentlichung
3. Oktober 2024
Rechtsraum
WO
IPC
F04D19/04
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
EDWARDS JAPAN LIMITED
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Edwards Japan

Edwards Japan ist die japanische Landesgesellschaft des Vakuumpumpenherstellers Edwards, der zur Atlas-Copco-Gruppe gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Energie- und Antriebstechnik sowie Maschinenelemente und Fluidtechnik, mit Bezug zur Halbleiterfertigung. Die Titel betreffen unter anderem die Erkennung von Fremdstoffablagerungen in Vakuumpumpen.

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