Liquid processing method and liquid processing device

WO2024204096 Art A1 3. Oktober 2024

Anmelder: NATIONAL INSTITUTE OF ADVANCED INDUSTRIAL SCIENCE, KYUSHU UNIVERSITY, NATIONAL UNIVERSITY CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2024204096
Aktenzeichen: EP24780213
Anmeldetag: 25. März 2024
Veröffentlichung: 3. Oktober 2024
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/304

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: NATIONAL INSTITUTE OF ADVANCED INDUSTRIAL SCIENCE
KYUSHU UNIVERSITY, NATIONAL UNIVERSITY CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 National Institute of Advanced Industrial Science and Technology

Staatliches japanisches Forschungsinstitut (AIST), das breit angelegte angewandte Forschung in Bereichen wie Materialwissenschaft, Energie, Elektronik und Biotechnologie betreibt.

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🇯🇵 Kyushu University

Kyushu University ist eine staatliche Universität in Fukuoka, Japan, mit Forschungsschwerpunkten in Natur- und Ingenieurwissenschaften.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von