Wafer inspection device, wafer inspection system, wafer inspection method, and program

WO2024204649 Art A1 3. Oktober 2024

Anmelder: DOWA ELECTRONICS MATERIALS CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2024204649
Aktenzeichen
EP24780747
Anmeldetag
28. März 2024
Veröffentlichung
3. Oktober 2024
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/66C30B33/08G06T7/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
DOWA ELECTRONICS MATERIALS CO., LTD.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 DOWA Electronics Materials

DOWA Electronics Materials ist ein japanisches Unternehmen der DOWA-Gruppe für elektronische Werkstoffe und Metallpulver. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Fertigungstechnik, ergänzt durch anorganische Chemie und Metallurgie. Anmeldungen reichen von 2001 bis in die Gegenwart.

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