Doping By Molecular Layer Deposition
Anmelder: APPLIED MATERIALS, INC., NATIONAL UNIVERSITY OF SINGAPORE 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2024206263
- Aktenzeichen
- EP24781716
- Anmeldetag
- 26. März 2024
- Veröffentlichung
- 3. Oktober 2024
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01L21/225C23C16/56C23C16/455
Abstract
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Anmelder
- Firmen
- APPLIED MATERIALS, INC.
NATIONAL UNIVERSITY OF SINGAPORE - Land
- 🇺🇸 USA
US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.
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Staatliche Universität in Singapur, eine der größten und international bestbewerteten Hochschulen Asiens. Sie ist in Forschung und Lehre breit aufgestellt, mit starken Ingenieur- und Naturwissenschaftsfakultäten.
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