Silencer for thermal conditioning system and lithographic apparatus

WO2024208537 Art A1 10. Oktober 2024

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2024208537
Aktenzeichen: EP24709423
Anmeldetag: 11. März 2024
Veröffentlichung: 10. Oktober 2024
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/00F01N1/00F16L55/00F16L55/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen) Maschinenelemente & Fluidtechnik Optik & Fototechnik

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