Substrate processing device and substrate processing method

WO2024210021 Art A1 10. Oktober 2024

Anmelder: SCREEN HOLDINGS CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2024210021
Aktenzeichen: EP24784810
Anmeldetag: 27. März 2024
Veröffentlichung: 10. Oktober 2024
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/304G03F7/42H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: SCREEN HOLDINGS CO., LTD.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 SCREEN Holdings

Japanischer Technologiekonzern. SCREEN Holdings stellt Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie her, insbesondere Wafer-Reinigungs- und Beschichtungssysteme, sowie Druck- und Bildverarbeitungstechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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