Apparatus and method of brush cleaning using periodic chemical treatments

WO2024210981 Art A1 10. Oktober 2024

Anmelder: APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2024210981
Aktenzeichen
EP24785502
Anmeldetag
2. Februar 2024
Veröffentlichung
10. Oktober 2024
Rechtsraum
WO
IPC
A46B17/06A46B13/02A46B13/00B24B37/34
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
APPLIED MATERIALS, INC.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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