Asymmetric gas bearing bushing for thermo-pump

WO2024211113 Art A2 10. Oktober 2024

Anmelder: KLA CORPORATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2024211113
Aktenzeichen
EP24785543
Anmeldetag
26. März 2024
Veröffentlichung
10. Oktober 2024
Rechtsraum
WO
IPC
F16C29/02F16C32/06F04B19/22F04B19/24
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
KLA CORPORATION
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 KLA Corporation

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

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