Quantitation of unstable reaction product or breakdown product without usage of standard chemical
WO2024211148
Art A1
10. Oktober 2024
Anmelder: KLA CORPORATION 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2024211148
- Aktenzeichen
- EP24785560
- Anmeldetag
- 28. März 2024
- Veröffentlichung
- 10. Oktober 2024
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G01N30/02G01N30/74
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA CORPORATION
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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