Solvated electron-based lithium metal removal for in-situ cleaning of web coating system

WO2024211652 Art A1 10. Oktober 2024

Anmelder: APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2024211652
Aktenzeichen: EP24785808
Anmeldetag: 5. April 2024
Veröffentlichung: 10. Oktober 2024
Rechtsraum: WO
IPC: C23C14/58C23C14/24C23C14/02C23C14/14C23C14/56

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: APPLIED MATERIALS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von