Methods of growing metal-containing films

WO2024215508 Art A1 17. Oktober 2024

Anmelder: APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2024215508
Aktenzeichen
EP24789230
Anmeldetag
2. April 2024
Veröffentlichung
17. Oktober 2024
Rechtsraum
WO
IPC
C23C16/455C23C16/56H01L21/285H01L21/321H01L21/3205H01L29/40
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
APPLIED MATERIALS, INC.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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