Patterned print heads and resistive anodes for electrodeposition thickness distribution control

WO2024215553 Art A1 17. Oktober 2024

Anmelder: LAM RESEARCH CORPORATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2024215553
Aktenzeichen: EP24789248
Anmeldetag: 4. April 2024
Veröffentlichung: 17. Oktober 2024
Rechtsraum: WO
IPC: B41J2/335

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: LAM RESEARCH CORPORATION
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Lam Research

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

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Fachgebiete

Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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