Method for evaluating the flatness of a substrate support

WO2024217800 Art A1 24. Oktober 2024

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2024217800
Aktenzeichen: EP24711576
Anmeldetag: 19. März 2024
Veröffentlichung: 24. Oktober 2024
Rechtsraum: WO
IPC: G01B5/00G01B9/02017G01B11/30G03F7/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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