Verfahren zum Kalibrieren einer Formbearbeitungsvorrichtung

WO2024218214 Art A1 24. Oktober 2024

Anmelder: CARL ZEISS SMT GMBH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2024218214
Aktenzeichen: EP24720496
Anmeldetag: 18. April 2024
Veröffentlichung: 24. Oktober 2024
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/304H01J37/305

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: CARL ZEISS SMT GMBH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

2.391 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von