Method and device for mask repair

WO2024218314 Art A1 24. Oktober 2024

Anmelder: CARL ZEISS SMT GMBH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2024218314
Aktenzeichen: EP24720838
Anmeldetag: 19. April 2024
Veröffentlichung: 24. Oktober 2024
Rechtsraum: WO
IPC: G03F1/22G03F1/74

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: CARL ZEISS SMT GMBH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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