Temperature control member and electrostatic chuck device
WO2024219500
Art A1
24. Oktober 2024
Anmelder: SUMITOMO OSAKA CEMENT CO., LTD. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2024219500
- Aktenzeichen
- EP24792771
- Anmeldetag
- 19. April 2024
- Veröffentlichung
- 24. Oktober 2024
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01L21/683C04B37/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- SUMITOMO OSAKA CEMENT CO., LTD.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Sumitomo Osaka Cement
Sumitomo Osaka Cement ist ein japanisches Unternehmen, das neben klassischer Zementproduktion auch elektronische und optische Materialien für die Halbleiterindustrie herstellt. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Optik und Fototechnik sowie Halbleiter und elektrische Bauelemente, ergänzt durch anorganische Chemie und Werkstoffe. Anmeldungen erstrecken sich von 2000 bis 2025.
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