Methods of ¿-led sidewall cleaning and passivation

WO2024220754 Art A1 24. Oktober 2024

Anmelder: APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2024220754
Aktenzeichen
EP24793533
Anmeldetag
19. April 2024
Veröffentlichung
24. Oktober 2024
Rechtsraum
WO
IPC
H01L25/075H01L27/15H01L33/20H01L33/50H01L33/62H01L33/42H01L33/38H01L33/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
APPLIED MATERIALS, INC.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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