Verfahren zum Trocknen einer Medienführenden Leitung, Trocknungseinrichtung und Lithographiesystem

WO2024223106 Art A1 31. Oktober 2024

Anmelder: CARL ZEISS SMT GMBH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2024223106
Aktenzeichen: EP24708148
Anmeldetag: 26. Februar 2024
Veröffentlichung: 31. Oktober 2024
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20F16K7/10

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: CARL ZEISS SMT GMBH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Maschinenelemente & Fluidtechnik Optik & Fototechnik

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