Device, method and computer program for processing of a surface of a substrate

WO2024223586 Art A1 31. Oktober 2024

Anmelder: CARL ZEISS SMT GMBH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2024223586
Aktenzeichen: EP24721635
Anmeldetag: 23. April 2024
Veröffentlichung: 31. Oktober 2024
Rechtsraum: WO
IPC: B08B3/12B08B3/04B08B5/04G03F1/82B08B1/14

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: CARL ZEISS SMT GMBH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik Verfahrens- & Trenntechnik

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