Imaging device, substrate observation device, substrate processing device, and imaging method

WO2024224992 Art A1 31. Oktober 2024

Anmelder: SCREEN HOLDINGS CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2024224992
Aktenzeichen: EP24796750
Anmeldetag: 5. April 2024
Veröffentlichung: 31. Oktober 2024
Rechtsraum: WO
IPC: H04N23/66G01N21/956H04N23/50H04N23/56H04N23/60H04N23/73

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: SCREEN HOLDINGS CO., LTD.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 SCREEN Holdings

Japanischer Technologiekonzern. SCREEN Holdings stellt Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie her, insbesondere Wafer-Reinigungs- und Beschichtungssysteme, sowie Druck- und Bildverarbeitungstechnik.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Nachrichtentechnik & Telekommunikation

Vertreten von