A jig for alignment in relation to a process chamber, and related apparatus, systems, and methods

WO2024226126 Art A1 31. Oktober 2024

Anmelder: APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2024226126
Aktenzeichen: EP24797596
Anmeldetag: 18. Januar 2024
Veröffentlichung: 31. Oktober 2024
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/677B25J15/00H01L21/67H01L21/68

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: APPLIED MATERIALS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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