Vibration-based health monitoring system for valves of a gas delivery system

WO2024226280 Art A1 31. Oktober 2024

Anmelder: LAM RESEARCH CORPORATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2024226280
Aktenzeichen: EP24797652
Anmeldetag: 8. April 2024
Veröffentlichung: 31. Oktober 2024
Rechtsraum: WO
IPC: G01H9/00G01D5/353G01M13/003F16K37/00F16K7/12F16K31/12F16K27/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: LAM RESEARCH CORPORATION
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Lam Research

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

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Fachgebiete

Maschinenelemente & Fluidtechnik Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

Vertreten von