Method and system for bonding high fluence optics to opto-mechanical assemblies

WO2024226313 Art A1 31. Oktober 2024

Anmelder: KLA CORPORATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2024226313
Aktenzeichen
EP24797665
Anmeldetag
12. April 2024
Veröffentlichung
31. Oktober 2024
Rechtsraum
WO
IPC
B32B37/12B32B37/10B32B7/12B32B7/023B32B9/04
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
KLA CORPORATION
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 KLA Corporation

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

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