Plasma pretreatment for selective adsorption of aminosilane inhibitor

WO2024228843 Art A1 7. November 2024

Anmelder: LAM RESEARCH CORPORATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2024228843
Aktenzeichen: EP24800357
Anmeldetag: 18. April 2024
Veröffentlichung: 7. November 2024
Rechtsraum: WO
IPC: C23C16/455C23C16/04C23C16/06C23C16/30

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: LAM RESEARCH CORPORATION
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Lam Research

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von