Optische Baugruppe

WO2024231272 Art A1 14. November 2024

Anmelder: CARL ZEISS SMT GMBH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2024231272
Aktenzeichen
EP24724183
Anmeldetag
3. Mai 2024
Veröffentlichung
14. November 2024
Rechtsraum
WO
IPC
G02B26/08
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
CARL ZEISS SMT GMBH
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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