Assembly for sub-micron alignment and a method for sub-micron alignment using the assembly

WO2024232820 Art A1 14. November 2024

Anmelder: NATIONAL UNIVERSITY OF SINGAPORE, POET TECHNOLOGIES PTE. LTD. 🇸🇬

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2024232820
Aktenzeichen
EP23936729
Anmeldetag
9. Mai 2023
Veröffentlichung
14. November 2024
Rechtsraum
WO
IPC
H01L23/544G02B6/42H01S5/0234
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
NATIONAL UNIVERSITY OF SINGAPORE
POET TECHNOLOGIES PTE. LTD.
Land
🇸🇬 Singapur
🇸🇬 National University of Singapore

Staatliche Universität in Singapur, eine der größten und international bestbewerteten Hochschulen Asiens. Sie ist in Forschung und Lehre breit aufgestellt, mit starken Ingenieur- und Naturwissenschaftsfakultäten.

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