Apparatus and methods to determine hole blockage in a showerhead

WO2024233130 Art A1 14. November 2024

Anmelder: LAM RESEARCH CORPORATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2024233130
Aktenzeichen: EP24803925
Anmeldetag: 25. April 2024
Veröffentlichung: 14. November 2024
Rechtsraum: WO
IPC: G01N21/88G01N21/954G01J1/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: LAM RESEARCH CORPORATION
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Lam Research

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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