Verfahren zur Herstellung einer Düseneinheit für die Waferherstellung und Düseneinheit

WO2024235771 Art A1 21. November 2024

Anmelder: FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWAND 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2024235771
Aktenzeichen: EP24725772
Anmeldetag: 7. Mai 2024
Veröffentlichung: 21. November 2024
Rechtsraum: WO
IPC: C03B23/20C03B23/00H05G2/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWAND
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Fraunhofer-Gesellschaft

Deutsche gemeinnützige Forschungsorganisation mit Sitz in München. Betreibt anwendungsorientierte Forschung in Technik und Naturwissenschaften über zahlreiche Institute für Industrie und Gesellschaft.

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Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe Elektronik & Schaltungstechnik

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