Prediction algorithm generation device, information processing device, substrate processing device, prediction algorithm generation method, prediction algorithm generation program, processing condition determination method, processing condition determination program, and prediction algorithm

WO2024237092 Art A1 21. November 2024

Anmelder: SCREEN HOLDINGS CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2024237092
Aktenzeichen: EP24807046
Anmeldetag: 30. April 2024
Veröffentlichung: 21. November 2024
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/306G06N20/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: SCREEN HOLDINGS CO., LTD.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 SCREEN Holdings

Japanischer Technologiekonzern. SCREEN Holdings stellt Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie her, insbesondere Wafer-Reinigungs- und Beschichtungssysteme, sowie Druck- und Bildverarbeitungstechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Software & Datenverarbeitung

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