Molybdenum target and method for producing same

WO2024237257 Art A1 21. November 2024

Anmelder: ULVAC, INC. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2024237257
Aktenzeichen
EP24807209
Anmeldetag
14. Mai 2024
Veröffentlichung
21. November 2024
Rechtsraum
WO
IPC
C23C14/34B22F1/00B22F1/052B22F3/14B22F3/15C22C1/04C22C27/04
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
ULVAC, INC.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

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