Chamber moisture control using narrow optical filters measuring emission lines

WO2024238087 Art A1 21. November 2024

Anmelder: APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2024238087
Aktenzeichen: EP24807726
Anmeldetag: 18. April 2024
Veröffentlichung: 21. November 2024
Rechtsraum: WO
IPC: G01N21/3554G01N21/25G01N21/31G01N21/3504G01N21/3563

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: APPLIED MATERIALS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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