Verfahren zum Betreiben eines Festkörperaktuators in einer Mikrolithographischen Projektionsbelichtungsanlage

WO2024240628 Art A2 28. November 2024

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2024240628
Aktenzeichen: EP24727352
Anmeldetag: 17. Mai 2024
Veröffentlichung: 28. November 2024
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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