Voltage-controlled electrochemical wet etching preparation of porous monocrystalline silicon carbide thin films and multilayered wafer production

WO2024240961 Art A1 28. November 2024

Anmelder: UMICORE 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2024240961
Aktenzeichen
EP24731479
Anmeldetag
27. Mai 2024
Veröffentlichung
28. November 2024
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/02H01L21/306H01L21/3063H01L21/762
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
UMICORE
Land
🇧🇪 Belgien
🇩🇪 Umicore

Belgisches Materialtechnologie- und Recyclingunternehmen mit deutschem Verwaltungssitz, spezialisiert auf Edelmetalle, Katalysatoren und Batteriematerialien.

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