Electrochemical wet etching ¿ annealing of monocrystalline silicon carbide substrates for semiconductor wafer fabrication

WO2024240963 Art A1 28. November 2024

Anmelder: UMICORE 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2024240963
Aktenzeichen: EP24728237
Anmeldetag: 27. Mai 2024
Veröffentlichung: 28. November 2024
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/02H01L21/306H01L21/3063H01L21/762

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: UMICORE
Land: 🇧🇪 Belgien

🇩🇪 Umicore

Belgisches Materialtechnologie- und Recyclingunternehmen mit deutschem Verwaltungssitz, spezialisiert auf Edelmetalle, Katalysatoren und Batteriematerialien.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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