Messsystem, Messvorrichtung und Messverfahren

WO2024241357 Art A1 28. November 2024

Anmelder: NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2024241357
Aktenzeichen: EP23938334
Anmeldetag: 19. Mai 2023
Veröffentlichung: 28. November 2024
Rechtsraum: WO
IPC: G01C3/00G01C15/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: NIKON CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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