Inspection device having internal pressure adjustment function, and method for adjusting internal pressure of inspection device

WO2024241393 Art A1 28. November 2024

Anmelder: HITACHI HIGH-TECH CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2024241393
Aktenzeichen
EP23938367
Anmeldetag
19. Mai 2023
Veröffentlichung
28. November 2024
Rechtsraum
WO
IPC
G01N35/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
HITACHI HIGH-TECH CORPORATION
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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