Radiation-sensitive composition, pattern formation method, and onium salt compound

WO2024241766 Art A1 28. November 2024

Anmelder: JSR CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2024241766
Aktenzeichen: EP24810774
Anmeldetag: 16. April 2024
Veröffentlichung: 28. November 2024
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/004G03F7/20G03F7/038G03F7/039

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: JSR CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 JSR Corporation

JSR Corporation ist ein japanisches Chemieunternehmen, das synthetische Kautschuke sowie Materialien für die Halbleiter- und Displayindustrie herstellt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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