Target assembly and method for manufacturing target assembly

WO2024242079 Art A1 28. November 2024

Anmelder: ULVAC, INC. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2024242079
Aktenzeichen
EP24811086
Anmeldetag
20. Mai 2024
Veröffentlichung
28. November 2024
Rechtsraum
WO
IPC
C23C14/34B23K20/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
ULVAC, INC.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

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