Filteranordnungen und Zugehörige Systeme und Zugehörige Verfahren

WO2024243072 Art A1 28. November 2024

Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2024243072
Aktenzeichen
EP24811693
Anmeldetag
17. Mai 2024
Veröffentlichung
28. November 2024
Rechtsraum
WO
IPC
B01D15/36B01D15/26H01L21/67
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
Entegris, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

899 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Verfahrens- & Trenntechnik

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