Surface finishing of internal geometries for manifolds

WO2024243220 Art A1 28. November 2024

Anmelder: LAM RESEARCH CORPORATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2024243220
Aktenzeichen
EP24811784
Anmeldetag
21. Mai 2024
Veröffentlichung
28. November 2024
Rechtsraum
WO
IPC
C25F3/16C25F7/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
LAM RESEARCH CORPORATION
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Lam Research

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

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