Vibration Determination in Substrate Processing Systems

WO2024243455 Art A1 28. November 2024

Anmelder: APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2024243455
Aktenzeichen: EP24811937
Anmeldetag: 23. Mai 2024
Veröffentlichung: 28. November 2024
Rechtsraum: WO
IPC: G05B19/404G01H17/00G05B23/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: APPLIED MATERIALS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Steuerungs- & Regelungstechnik

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