Gain balancing calibration for a motion control system

WO2024245715 Art A1 5. Dezember 2024

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2024245715
Aktenzeichen: EP24725481
Anmeldetag: 8. Mai 2024
Veröffentlichung: 5. Dezember 2024
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/00G05B19/402

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik Steuerungs- & Regelungstechnik

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