Berührungslos Messender Temperatursensor für einen Spiegel, Projektionsobjektiv und Verfahren zum Messen der Temperatur eines Spiegels

WO2024245923 Art A2 5. Dezember 2024

Anmelder: CARL ZEISS SMT GMBH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2024245923
Aktenzeichen: EP24728627
Anmeldetag: 24. Mai 2024
Veröffentlichung: 5. Dezember 2024
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: CARL ZEISS SMT GMBH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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