Organometallische Zinn-Oxo-Carboxylat-Cluster mit Gemischten Organischen Liganden für die Euv-Lithographie

WO2024246119 Art A1 5. Dezember 2024

Anmelder: Merck Patent GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2024246119
Aktenzeichen: EP24730910
Anmeldetag: 29. Mai 2024
Veröffentlichung: 5. Dezember 2024
Rechtsraum: WO
IPC: C07F7/22B29D11/00G03F7/00H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Merck Patent GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Merck KGaA

Deutsches Pharma- und Chemieunternehmen mit Sitz in Darmstadt. Aktiv in Biopharmazeutika, Life-Science-Technologien sowie elektronischen Materialien für Halbleiter- und Displayindustrie. Nicht zu verwechseln mit dem US-Unternehmen Merck & Co.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Kunststoff- & Polymertechnik Optik & Fototechnik Organische Chemie

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