Observation device and observation method

WO2024247443 Art A1 5. Dezember 2024

Anmelder: NATIONAL INSTITUTE OF ADVANCED INDUSTRIAL SCIENCE 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2024247443
Aktenzeichen: EP24814930
Anmeldetag: 15. März 2024
Veröffentlichung: 5. Dezember 2024
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/22H01J37/20H01J37/24H01J37/28

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: NATIONAL INSTITUTE OF ADVANCED INDUSTRIAL SCIENCE
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 National Institute of Advanced Industrial Science and Technology

Staatliches japanisches Forschungsinstitut (AIST), das breit angelegte angewandte Forschung in Bereichen wie Materialwissenschaft, Energie, Elektronik und Biotechnologie betreibt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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