Inspektionsvorrichtung und Inspektionsverfahren

WO2024247766 Art A1 5. Dezember 2024

Anmelder: Tokyo Electron Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2024247766
Aktenzeichen: EP24815250
Anmeldetag: 17. Mai 2024
Veröffentlichung: 5. Dezember 2024
Rechtsraum: WO
IPC: G01R31/28G01R31/26H01L21/66H01L27/144

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Tokyo Electron Limited
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

2.414 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

Vertreten von