Substrate processing apparatus

WO2024248403 Art A1 5. Dezember 2024

Anmelder: JUSUNG ENGINEERING CO., LTD. 🇰🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2024248403
Aktenzeichen
EP24815780
Anmeldetag
23. Mai 2024
Veröffentlichung
5. Dezember 2024
Rechtsraum
WO
IPC
C23C16/44C23C16/455C23C16/458C23C16/52H01L21/67
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
JUSUNG ENGINEERING CO., LTD.
Land
🇰🇷 Südkorea
🇰🇷 Jusung Engineering

Jusung Engineering ist ein südkoreanischer Hersteller von Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung. Das Patentportfolio konzentriert sich fast vollständig auf Halbleitertechnik, ergänzt durch Metallurgie und Elektronik. Die Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2025 ab.

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