Verfahren und Vorrichtung zur Tropfenstrahlreinigung bei Erhöhter Temperatur

WO2024248967 Art A1 5. Dezember 2024

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2024248967
Aktenzeichen: EP24816080
Anmeldetag: 17. April 2024
Veröffentlichung: 5. Dezember 2024
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/02H01L21/67B05B12/14B05B12/00B05B7/24B05B7/04

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Verfahrens- & Trenntechnik

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