Control of the temperature coefficient of frequency of a microelectromechanical systems (mems) resonator via manipulation by stress

WO2024249376 Art A2 5. Dezember 2024

Anmelder: GEORGIA TECH RESEARCH CORPORATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2024249376
Aktenzeichen: EP24816257
Anmeldetag: 26. Mai 2024
Veröffentlichung: 5. Dezember 2024
Rechtsraum: WO
IPC: H03H3/007H03H3/013H03H9/02

Offizieller Volltext

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Anmelder

Firma: GEORGIA TECH RESEARCH CORPORATION
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Georgia Tech Research Corporation

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik

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